Обадете ни се +359 2 850 41 00
Запитване: Проект Продукти 0

Сканиращ електронен микроскоп (SEM) с променливо налягане и система EDS

Производител: JEOL S.p.A
Артикулен номер: JSM-IT500 LA

Технически характеристики:

Източник на емисии:
- Предварително центриран волфрамов източник;
- Функциите за включване на високо напрежение, контрол на отклонение и насищане на тока на нажежаването, както и подравняване на електронната оптика, могат да се изпълняват автоматично;
Ускорение на напрежението:
- Поменлива непрекъснато от 0,3 kV до 30 kV с оптимална стабилност на емисиите;
- Автоматично настройване на отклонение за достигане на напрежение за ускорение;
- Устройство за запис на корекциите на астигматизма за всяко ускорително напрежение;
Гарантирани резолюции:
- Гарантирана резолюция: 3 nm при 30 kV;
- Гарантирана резолюция: 8 nm при 3 kV;
- Гарантирана резолюция: 15 nm при 1 kV (най-доброто на пазара);
- Гарантирана резолюция с "променливо налягане": 4 nm при 30 kV;
Увеличение:
- Променлива от 1 до l.000.000x (в зависимост от монитора);
- Система за автоматично компенсиране на увеличение, полезна с променливо работно разстояние и ускорение на напрежението;
Работна камера:
- Голяма камера, която позволява въвеждане на проби с диаметър до 200 mm.
- Камера с вътрешни размери: 330 x 290 x 300 mm;
- 11 допълнителни порта за инсталиране на допълнителни аксесоари;
- Възможност за едновременно инсталиране на ED S / W D S / EBSD;
- Възможност за едновременна инсталация на две EDS системи;
Евцентрична сцена:
- Напълно контролиран софтуер.
- Напълно евцентричен за всички работни разстояния:
а) Положението за наблюдение върху пробата не се променя, дори ако пробата е наклонена;
б) Фокусът не се променя, дори ако пробата е преместена, докато е наклонена;
- Напълно моторизиран на 5 оси X, Y, Z, въртене и наклон, със следните диапазони (mm):
X = 125, Y = 100, Z = от 5 до 80, T = от -10 ° до + 90 °, R = 360 °;
- Софтуер за запис и извикване на координатите на гониометъра за няколко запомнени точки;
- Скоростта на таблицата е пропорционална на увеличението с функцията „Кликнете върху Центрово увеличение";
- Възможност за управление на движенията с мишката директно върху изображението;
- Автоматично спиране близо до контакта на пробата с камерата със звуков сигнал;
- Оста Z е напълно моторизирана чрез отклонение и не изисква поставяне или отстраняване на фиксатори.
Оптично-електронна система:
- Електромагнитно изравняване с двойно отклонение;
- Две кондензаторни лещи (CL-1 + CL-2) със система "Zoom кондензатор", с токa на възбуждане, използван от микропроцесора, и устройство за елиминиране на магнитен хистерезис;
- Контролни лещи на апертурата (патент на JEOL) за автоматично намаляване на размера на електронния лъч дори при високи токови условия, за да се поддържат изображения с висока разделителна способност;
- Воблер на обектива за подравняване на диафрагмата;
- Обективна леща (OL) от типа "Superconic" (60°).
- Динамичен фокус за улесняване на наблюдението на наклонени проби;
- Електронно изместване на изображението от ± 50 pm;
- Антивибрационна система за колоната и вакуумната система;
Вакуумна система и управление на променливо налягане:
- Два режима на работа: висок вакуум (HV) и променливо налягане (LV);
- Вакуумната система е напълно автоматична и съставена от 5 помпи:
- Турбомолекулярна помпа (TMP).
- Две въртящи се помпи (RP) da 100 l / min (RP-1 e RP-2).
- Две разпръскващи йонни помпи (SIP).
- Ниво на вакуум в HV режим: по-добро от 10'6 Pa.
- Ниво на вакуум в режим НН: автоматично променлива от 10 до 650 Pa в стъпки от 1 Pa.
Преминаването от HV в LV и обратно е напълно автоматично, не трябва да се извършва ръчна операция от оператора за добавяне / премахване на всяко устройство.
- Отворът, който има функцията да отделя зоната с висок вакуум (колоната) от зоната с нисък вакуум (камера), създаваща диференциален вакуум, остава фиксиран в положението си, дори ако SEM се използва в конвенционален HV режим. Тази функция прави много лесно и бързо преминаването от висок вакуум към нисък вакуум и обратно, не изисква ръчна намеса от страна на оператора.
- Отворът също е разположен в ниско вакуумната област, докато диафрагмите на лещите на обектива (които имат пряк ефект върху SEM изпълнението) са разположени в зоната с висок вакуум и са напълно независими от самия отвор. Това предпазва диафрагмите от всякакво замърсяване, което води до поддържане на висока производителност за дълъг период от време, докато отворът е лесно забележим за възможно почистване.
- Няма нужда от специални отвори или други устройства за извършване на микроанализа при условия на променливо налягане.
Електронен детектор (BED)
- Високо чувствителен твърд детектор с три сектора (патент на JEOL);
- Позволява, в допълнение към конвенционалните изображения и топография, да се получат и "Shadow" изображения, които се получават чрез събиране на сигналите, придобити от пръстеновидния детектор, с тези, придобити от третия елемент;
Фиксирани детектори
- Описаните детектори (SED и BED) остават постоянно монтирани в камерата и преминаването от един сигнал към друг не изисква ръчни операции от оператора, нито прекъсване на вакуума при отваряне на камерата, всички тези операции се управляват софтуерно;
Едновременно показване на различни изображения
- Двойно показване на изображение на живо: две „живи“ изображения могат да се гледат на монитора вертикално или хоризонтално разделени;
- Избрана област „живо“ изображение на дисплея: в избраната област на монитора могат да се показват различни изображения;
- Дисплей за наблюдение на „живо“ на изображения;
- Функция за смесване на сигнала: две „живи“ изображения могат да бъдат „смесени“ и показани на монитора.
Защити и самодиагностика
- Автоматична и ръчна диагностична система за всякакви неизправности в електронните схеми на инструмента, за бързо и рационално обслужване;
- Възможност за дистанционна диагностика и помощ;
Етапна навигационна система
- CMOS камера с висока разделителна способност за цветно изображението отгоре и лесна навигация на пробите.
- Функция ZEROMAG за съотношение на придобитото оптично изображение с камерата на SEM
- Странична камера за визуализация на вътрешната камера SEM;

Със софтуер и компютър.
Един софтуер управлява всички функции и EDS-модула.
Всички части и аксесоари за произведени от фирма JEOL с пълна функционалност и не се нуждаят от надграждане (upgrade).


Производител: JEOL